မြင့်မားသောတိကျသောအလူမီနီယမ်သံမဏိ SPHC SPCC စာရွက်သတ္တုတံဆိပ်ထုခြင်းအပိုင်း

အောက်ဖော်ပြပါအဆင့်များသည် ဓာတ်တိုးခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ပါဝင်လေ့ရှိသည်-
1. ကုန်ကြမ်းကျွေးခြင်း- ဓါတ်ပေါင်းဖိုအတွင်းသို့ ကုန်ကြမ်းများ ပေးဆောင်ရန် ပိုက်များကို အသုံးပြု၍ ကုန်ကြမ်းအတွင်း ကုန်ကြမ်းချိန်ခွင်လျှာကို ထိန်းထားရန်။
2. တုံ့ပြန်မှု- ဓာတ်တိုးတုံ့ပြန်မှုကို အကောင်အထည်ဖော်ရန်၊ ဓာတ်ပေါင်းဖိုထဲသို့ အောက်ဆီဂျင်ထည့်ကာ တုံ့ပြန်မှုဘောင်များ (ဥပမာ အပူချိန်၊ ဖိအားနှင့် တုံ့ပြန်မှုအချိန်) ကို ထိန်းညှိပါ။
3. ထုတ်ကုန်ကို ပိုင်းခြားခြင်း- ဓာတ်ပြုထားသော ထုတ်ကုန်ကို အေးစေရန် လေအေးပေးစက်ကို အသုံးပြုပါ၊ ၎င်းကို ဓာတ်ငွေ့အခြေအနေမှ အရည် သို့မဟုတ် အစိုင်အခဲပုံစံအဖြစ် ပြောင်းလဲကာ အစိတ်အပိုင်းအမျိုးမျိုးမှ ထွက်လာသည့် ထုတ်ကုန်များကို ခွဲထုတ်ရန် စီခွဲကိရိယာကို အသုံးပြုပါ။
4. သန့်စင်ခြင်း- တုံ့ပြန်မှုထုတ်ကုန်သည် လိုအပ်သော သန့်စင်မှုသို့ရောက်ရှိကြောင်း သေချာစေရန်၊ ၎င်းကို သန့်စင်ပါ။

5. ထုပ်ပိုးခြင်း- ထုတ်ကုန်များကို သန့်စင်ပြီးနောက်၊ ဖောက်သည်များထံ မရောင်းချမီ သို့မဟုတ် စီမံဆောင်ရွက်ခြင်း၏ နောက်အဆင့်သို့ ပေးပို့ခြင်းမပြုမီ လမ်းညွှန်ချက်များနှင့် စံချိန်စံညွှန်းများနှင့်အညီ ထုပ်ပိုးထားသည်။
ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် (SiO2) အပေါ်ယံလွှာကို ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် (အောက်ဆီဂျင်နှင့် ရေ) ကို ဓာတ်တိုးခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အပူစွမ်းအင်နှင့် ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်ပစ္စည်းများ (အောက်ဆီဂျင်နှင့် ရေ) ကို ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် (SiO2) အပေါ်ယံပိုင်းသို့ အသုံးချခြင်းကဲ့သို့သော အထူးပြုအသုံးချမှုအချို့တွင် ပါဝင်သည်။ ဤအောက်ဆိုဒ်ရုပ်ရှင်သည် etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း မရည်ရွယ်ဘဲ ထွင်းဖောက်ခြင်းမှ wafer ကိုကာကွယ်ရန်၊ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ပျံ့နှံ့မှုကိုရပ်တန့်ကာ ဆားကစ်များတစ်လျှောက် ယိုစိမ့်နေသောလျှပ်စီးကြောင်းကို ရပ်တန့်ရန် ဤအောက်ဆိုဒ်ဖလင်သည် လုပ်ဆောင်ပေးပါသည်။